[매일일보 이상래 기자] 반도체 소재 기업인 램테크놀러지가 액체와 기체 형태의 초고순도 불화수소를 동시에 생산하는 기술을 개발해 특허를 취득했다.
22일 램테크놀러지에 따르면 기존의 불화수소 생산 방식은 형석을 가지고 증류법, 전기 분해법, 흡착법, 막분리법 등의 다양한 정제 공정을 통하지만 램테크놀러지가 개발한 생산방식은 이러한 전처리 과정이 생략된다.
램테크놀러지는 자사가 생산하는 불화수소의 순도는 세계 최고 수준이라고 밝혔다.
업계에서 '초고순도 불화수소'는 통상 99.9999%(6N) 이상의 순도인 기체를 의미하는데, 램테크놀러지의 불화수소 순도는 99.999999999999999%(15N)라는 것이다.
회사 측은 "이는 현존하는 초고순도 불화수소 중 가장 순도가 높다"며 "국내 기술이 일본 기술을 앞서게 된 것"이라고 설명했다.
램테크놀러지는 초고순도 불화수소를 생산하기 위해 다각적인 연구를 수행한 결과 전처리 공정이 없는 생산방식을 개발했다.
기체상과 액체상에 공존하는 다단 증류탑 내부의 조 불화수소 내 불순물을 산화시켜 제거할 수 있는 가스 스트림을 투입하되, 투입 공정 프로세서로 고급 공정 제어 모듈을 적용한다.
이어 원재료인 조 불화수소의 품질에 따라 즉각적으로 정제 공정에 적용함으로써 초고순도 불화수소를 높은 양산 전환율로 연속적으로 제조할 수 있다고 회사는 전했다.
램테크놀러지는 이렇게 제조된 초고순도 불화수소는 수분 농도가 최소화돼 안정도가 매우 우수하며, 세계 최고의 기술력으로 일본 기술력을 앞섰다고 평가했다.
램테크놀러지는 "연내에 통과되길 기다리는 국가전략산업 특별법을 통해 당진 제1신축공장 증설과 내부 검토 중인 용인 반도체클러스터 제2신축공장 증설이 탄력을 받고 초고순도 불화수소 국산화가 강화될 것"이라고 밝혔다.
