[매일일보 이상래 기자] 반도체·디스플레이 소재기업 동진쎄미켐이 일본 수출규제 대상 품목 포토레지스트 공장을 증설한다.
15일 산업통상자원부에 따르면 동진쎄미켐은 1분기 중 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(Arf) 등 포토레지스트를 생산하는 공장 증설에 들어갈 예정이다.
동진쎄미켐은 극자외선(EUV)용 포토레지스트의 바로 전 단계인 반도체용 불화아르곤액침(ArF-immersion) 포토레지스트를 국내 최초로 개발해 생산하는 반도체·디스플레이용 소재 전문기업이다.
증설공장이 계획대로 완공돼 내년 초 정상 가동되면 동진쎄미켐은 국내 포토레지스트 생산량을 현재보다 2배 이상 확대할 것으로 보인다.
포토레지스트는 감광재로 반도체의 노광(Photo) 공정 단계에서 웨이퍼 기판에 패턴을 형성하기 위해 필수적으로 사용된다. 포토레지스트는 그동안 일본 수입에 대부분 의존해왔지만, 일본의 수출규제 이후 대일 수입의존도를 낮춰 공급 안정성을 빠르게 확보해 나가고 있다.
정승일 산업부 차관은 이날 동진쎄미켐을 방문해 "일본 수출규제 이후 민관이 힘을 합쳐 노력해 온 결과 포토레지스트를 포함해 3대 품목 등 핵심소재의 공급 안정성이 확보돼 가고 있다"며 "동진쎄미켐의 생산공장 증설 착공 등으로 포토레지스트의 국내 공급 안정성이 한층 더 강화될 것"이라고 말했다.
저작권자 © 매일일보 무단전재 및 재배포 금지
